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iNS系列步进纳米压印设备具备自动对焦、自动对准、自动压印能力,可应用于玻璃母模、扇出压印、微透镜阵列、光波导镜片、MEMS等领域。
iCB系列产品为星空科技工程自主研发的自动芯片键合设备,可实现芯片与芯片、芯片与晶圆键合。适用于红外传感器、MicroLED、Chiplet等应用。
i3D系列产品是星空科技工程自主研发的非接触式光学面形检测设备,可实现旋转对称光学元件3D形貌的超精密、高速测量,适用于透明与非透明、光滑与粗糙等多种表面类型的检测分析。
iFM系列产品是星空科技工程自主研发的芯片位置测量设备,产品能够实现高精度测量样品图案位置信息,可应用于测量重构片位置、光罩图案位置等。
自1997年成立以来,AeroLas致力于气浮轴承及其驱动系统的研究与推广。作为业内优秀的气浮技术企业,AeroLas已将气浮核心技术很好的体现在客户定制方案中,众多解决方案已经实现了工业化和批量生产。
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