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深圳智达星空科技(集团)有限公司(简称“星空科技”,英文缩写“iStar”),总部位于深圳市深港大湾区国际科技创新中心。       智慧星空(上海)工程技术有限公司为星空科技全资子公司,位于上海,是产品的研发及集成中心。       iStar以精密机械、精密光电、精密运动、精密控制,以及复杂软件为核心技术,研制半导体、泛半导体、精密制造、新能源、生物医药等领域的创新装备。
适用于芯片制造、微透镜阵列、光波导镜片、MEMS等领域
适用于量产与实验室样品制备
适用于光学检测、光学元件3D形貌测量、镜片间距及厚度测量
适用于重构晶圆芯片位置测量等场景